केस स्टडी：फ्यूज्ड सिलिका फर्नेस ट्यूब-एमी
प्रकाशित तिथि: June 24, 2026
1. ग्राहक पृष्ठभूमि
8 इंच के पावर सेमीकंडक्टरों के निर्माता ऑक्सीकरण और डोपिंग के लिए 1050°C से 1180°C पर ऊर्ध्वाधर प्रसार भट्टियों का उपयोग करते हैं।अवरक्त पारगम्यता और विट्रिफिकेशन प्रतिरोध.
2साधारण सिलिका ट्यूबों के साथ मूल मुद्दे
पूर्व JGS1 लौ-पॉलिश ट्यूबों ने कई उत्पादन दोषों का कारण बनाः
- उच्च ओएच सामग्री खराब अवरक्त प्रवेश और असमान तापमान क्षेत्र की ओर ले जाती है, जिससे वेफर की उपज कम होती है।
- उच्च धातु अशुद्धियों से तेजी से विट्रिफिकेशन और लगातार दरारें होती हैं; ट्यूबों को हर 45 दिनों में बदलने की आवश्यकता होती है।
- मैट फ्लेम पॉलिश नट्स के परिणामस्वरूप खराब वैक्यूम सीलिंग और अस्थिर प्रक्रिया गैस एकाग्रता होती है।
3. अनुकूलित समाधानः FS03 सिलिका ट्यूब
- सामग्रीः FS03 वैक्यूम फ्यूज्ड सिलिका, SiO2 ≥99.995%, OH− <10 ppm, अति-कम अशुद्धियाँ।
- सतहः ट्यूबों, फ्लैंग्स और क्वार्ट्ज नट्स के लिए पूरी तरह से पारदर्शी दर्पण चमकाने (कोई लौ चमकाने) ।
- संरचना: थर्मल शॉक प्रतिरोध के लिए मोटी दीवार, तनाव मुक्त वेल्डिंग।
4परीक्षण और उत्पादन परिणाम
- भट्ठी के अंदर तापमान का अंतर ±12°C से घटाकर ±3°C किया गया।
- वेफर की उपज 6.8% बढ़ी; सेवा जीवन 45 दिनों से बढ़ाकर 180 दिन कर दिया गया।
- वैक्यूम रिसाव की विफलता में 95% की कमी आई; ट्यूबों के प्रतिस्थापन के लिए उत्पादन में कमी आई।
5निष्कर्ष
FS03 पारदर्शी पॉलिश भट्ठी ट्यूब तापमान एकरूपता और संदूषण जोखिमों को हल करते हैं, रखरखाव लागत को कम करते हैं और अर्धचालक थर्मल प्रक्रियाओं के लिए स्थिर बड़े पैमाने पर उत्पादन को बढ़ावा देते हैं।
